На чём основан справочник

Справочник написан не по интернету. За ним — инженерная школа, в которой мы учились и работаем: кафедра криогенной техники Университета ИТМО (прежде СПбГУНиПТ, ещё раньше Ленинградский технологический институт холодильной промышленности) и химическая технология материалов электронной техники СПбГТИ(ТУ), с которым мы сотрудничаем по молекулярному наслаиванию.

Кафедра криогенной техники

Создана в 1953 году как кафедра глубокого охлаждения и разделения газов; её открытию способствовал академик П.Л. Капица. С 1975 года носит нынешнее название. За годы работы подготовила более 5000 инженеров, 65 кандидатов и 18 докторов наук, результаты исследований вышли в двадцати монографиях.

Именами заведующих кафедрой описывается и её тематика: Г.А. Головко (1974–1993) — низкотемпературная адсорбционная очистка газов и криомедицинская аппаратура, Л.А. Акулов (1993–2007) — получение особо чистых веществ низкотемпературной ректификацией, азотные технологии замораживания, охлаждение криотурбогенераторов жидким гелием; затем Е.И. Борзенко и А.Ю. Баранов, при котором основным направлением стали техника и технологии сжиженного природного газа.

Вакуумная и криогенная техника

• Иванов В.И. Вакуумная техника: учебное пособие. — СПб.: Университет ИТМО, 2016. — 129 с. Основы теории вакуума, расчёт и конструирование вакуумных систем, средства откачки, измерение вакуума и обнаружение негерметичности. Пособие написано для направления «Холодильная, криогенная техника и системы жизнеобеспечения», поэтому вакуум разбирается в том числе как изоляция криогенных сосудов. Автор — профессор той же кафедры, которому принадлежит комплекс исследований по совершенствованию криовакуумных насосов.
• Орлов А.В., Меньшов А.Ю., Орлов В.Н., Меньшов Ю.Д. Вакуумная техника, технологии и оборудование. — Тираж 300 экземпляров. Основы вакуумной техники и её история, физические процессы в вакууме, составляющие вакуумных систем, применение вакуума в производственных процессах. Редкий случай современного русскоязычного издания, написанного так, что читается и студентом, и инженером предприятия. Распространяется через компанию «ИстВакуум».
• Акулов Л.А. Теплофизические свойства и фазовое равновесие криопродуктов. — СПб.: СПбГУНиПТ, 2009. Справочный материал по свойствам криогенных продуктов — основа любых расчётов, где есть фазовый переход.
• Фотин Б.С., Пирумов И.Б., Прилуцкий И.К., Пластинин П.И. Поршневые компрессоры. — Ленинград: Машиностроение, 1987. Классический курс по машинам объёмного действия — той части, с которой начинается любая система откачки. И.К. Прилуцкий — профессор той же кафедры, автор работ по поршневым детандерам нового поколения.

Молекулярное наслаивание и химия поверхности

У метода, который во всём мире называют ALD, ленинградское происхождение. В основе — остовная гипотеза В.Б. Алесковского, изложенная ещё в его докторской диссертации «Остовная гипотеза и опыт синтеза катализаторов» (1952): твёрдое тело рассматривается как остов с химически активными функциональными группами на поверхности, а значит, вещество можно достраивать направленно, реакция за реакцией. В середине шестидесятых Алесковский вместе с учеником С.И. Кольцовым довёл эту идею до экспериментально обоснованного метода, а окончательное оформление основы получили в докторской диссертации Кольцова (1971).

• Алесковский В.Б., Кольцов С.И. Некоторые закономерности реакций молекулярного наслаивания // Тезисы научно-технической конференции Ленинградского технологического института имени Ленсовета. — Л., 1965. Работа, с которой метод начинает существовать как метод.
• Алесковский В.Б. Стехиометрия и синтез твёрдых соединений. — Л., 1976. Монография, на основе которой позже вышел учебник «Химия твёрдых веществ» (1978).
• Малыгин А.А. Химическая сборка поверхности твёрдых тел методом молекулярного наслаивания // Соросовский образовательный журнал. — 1998. — № 7. — С. 58–64. Изложение принципа, на котором стоит вся технология: реакции между функциональными группами поверхности и подаваемыми к ним реагентами.
• Химия поверхности и нанотехнология высокоорганизованных веществ / сост. А.А. Малыгин. — СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2007. — 320 с.

Отечественный термин «молекулярное наслаивание» и международный Atomic Layer Deposition описывают один и тот же метод. Линия здесь прямая: Алесковский — Кольцов — Малыгин, от остовной гипотезы до промышленной технологии, и вся она ленинградская. Наши страницы про ALD-покрытия опираются на эту школу, а не на пересказ англоязычных обзоров.