Главная/ALD-покрытия
АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

ALD-покрытия на изделия заказчика

Атомно-слоевое осаждение (Atomic Layer Deposition) — метод формирования тонких плёнок последовательными самоограниченными химическими реакциями на поверхности материала. Каждый цикл добавляет строго определённое количество вещества, поэтому толщина задаётся числом циклов и воспроизводится с высокой точностью, а плёнка растёт одинаково по всей поверхности — включая поры, каналы и глухие полости.

Кремниевая пластина с нанесённым ALD-покрытием, характерный интерференционный цвет плёнки
Образец с ALD-покрытием: цвет поверхности задаёт толщина плёнки, одинаковая по всей пластине
ПОЧЕМУ ALD, А НЕ НАПЫЛЕНИЕ

Разница в физике процесса

Магнетронное и вакуумно-дуговое напыление переносят материал по прямой линии: там, где поверхность отвёрнута от источника или закрыта соседней деталью, плёнка получается тоньше или не образуется вовсе. Для плоской детали это несущественно, для резьбы, пористой структуры или внутренней стенки трубки — критично.

ALD работает иначе. Реагент подаётся в газовой фазе и вступает в реакцию с поверхностью до её насыщения, после чего реакция сама себя останавливает. Излишек откачивается, подаётся второй реагент — цикл замыкается. Поэтому:

  • толщина слоя одинакова везде, куда дошёл газ, — включая поры и каналы;
  • толщина задаётся числом циклов, а не временем и расстоянием до источника;
  • плёнка получается плотной и беспористой уже при десятках нанометров;
  • процесс идёт при умеренной температуре, что важно для термочувствительных изделий.

Обратная сторона — скорость: за цикл нарастает доля нанометра, поэтому ALD применяют там, где нужен тонкий функциональный слой, а не толстое защитное покрытие в сотни микрон.

На какие материалы можно наносить покрытие?

Титан и его сплавы, нержавеющие стали (включая AISI 316L), другие металлы, стекло, керамика. Ограничение задаёт не столько материал, сколько допустимая для изделия температура процесса — её уточняем на этапе подбора.

Какую толщину покрытия вы наносите?

Рабочий диапазон — единицы и десятки нанометров, до 100 нм. Более толстые слои технически возможны, но обычно нецелесообразны: время обработки растёт пропорционально числу циклов.

Можно ли покрыть внутреннюю поверхность трубки или пористую деталь?

Да, это как раз сильная сторона метода. Плёнка растёт на всей поверхности, до которой доходит газ, — в отличие от напыления, где внутренние полости остаются непокрытыми.

Сколько деталей нужно для пробной обработки?

Достаточно одного-двух образцов. По результату оцениваем покрытие и договариваемся об условиях обработки партии.

Нужно ли как-то готовить детали перед отправкой?

Детали должны быть очищены от масел и загрязнений. Если очистка нужна с нашей стороны — скажите заранее, включим её в состав работ.

ЗАЯВКА

Опишите задачу — ответим с оценкой

Чем конкретнее исходные данные — материал, геометрия, условия эксплуатации, — тем точнее будет ответ. Чертёж или эскиз ускоряет подбор технологии.

Телефон
8 903 092-63-29
Email
info_akr@bk.ru
Почтовый адрес
195030, Санкт-Петербург, а/я 7