Оборудование для магнетронного напыления

Установка напыления — это вакуумная система, вокруг которой собраны источники, охлаждение, подача газов и управление. Мы делаем эту систему: камеру, внутреннюю оснастку, тракт, охлаждение и автоматику, — а магнетронные источники и источники питания подбираем и интегрируем под ваш процесс.

Установка под ваше покрытие и изделия. Камеру, оснастку и автоматику делаем сами под задачу; нестандартная компоновка — обычный заказ.

РАЗГРАНИЧЕНИЕ

Что делаем сами, а что интегрируем

Говорим об этом прямо, чтобы не было неожиданностей на этапе согласования: разработка самих магнетронов — отдельная инженерная область.

Узел	Кто делает	Подробности
Вакуумная камера и тракт	Изготавливаем сами	Корпус, фланцы, порты, смотровые окна, вакуумно-плотная сварка, контроль гелием; нержавеющие стали и алюминиевые сплавы
Внутрикамерная оснастка	Изготавливаем сами	Держатели и столики подложек, экраны, заслонки, маски, узлы вращения и перемещения
Охлаждение	Изготавливаем сами	Контуры водяного охлаждения, чиллеры и станции — см. холодильные установки
Газовая система	Изготавливаем сами	Подача рабочего и реактивного газа, регуляторы расхода, смешение — см. газовые системы
Автоматика и управление	Изготавливаем сами	Щит, контроллер, циклограмма процесса, блокировки, журнал и регистрация
Магнетронные источники	Подбираем и интегрируем	Постоянного тока, среднечастотные, высокочастотные — под материал мишени и задачу
Источники питания и согласование	Подбираем и интегрируем	С учётом режима: реактивного, импульсного, высокочастотного
Технология напыления	Совместно с партнёрами	Отработка режимов и составов — см. партнёры

Что учитываем в конструкции

Расположение источников и подложек. Расстояние и угол определяют равномерность плёнки по площади; под несколько источников камера проектируется иначе, чем под один;
Вращение и планетарное движение подложек — основной способ выровнять толщину покрытия на партии изделий;
Заслонки и экраны. Заслонка закрывает подложку, пока мишень выходит на режим; экраны ограничивают осаждение на стенки и упрощают чистку камеры;
Охлаждение мишеней — вводы охлаждающей воды в вакуум, рассчитанные на разборку без нарушения герметичности;
Нагрев подложек с контролем температуры, если процесс этого требует;
Смотровые окна и защита от запыления — окно без защиты зарастает плёнкой за несколько циклов;
Доступ для обслуживания. Мишени меняют регулярно, поэтому конструкция должна допускать разборку без демонтажа половины установки.

Модернизация действующих установок

Отдельная и частая задача: установка напыления работает, но её автоматика снята с поддержки, вакуумный тракт потерял герметичность, а оснастка выработала ресурс. Меняем управление на современный контроллер с сохранением технологии, восстанавливаем тракт, изготавливаем новую оснастку по образцу — см. модернизацию оборудования и внутрикамерные устройства.

Магнетронное напыление и ALD — в чём разница

Магнетронное напыление переносит материал с мишени по прямой линии, поэтому даёт высокую скорость осаждения, но неравномерно покрывает сложную геометрию: резьбу, поры, внутренние полости. Атомно-слоевое осаждение работает из газовой фазы и покрывает всё, куда дошёл газ, но растит плёнку заметно медленнее.

На практике это не конкуренты, а разные инструменты: толстый функциональный слой на плоской детали — напыление; тонкий барьер на изделии сложной формы — ALD. Сравнение по задачам — в таблице покрытий и в справочнике.

Что прислать для оценки

материал покрытия и подложки;
размеры изделий и требуемая производительность — штук за цикл или в смену;
толщина плёнки и допустимая неравномерность;
нужен ли нагрев подложек и реактивный режим;
число источников, если оно уже определено;
для модернизации — что за установка и что в ней не устраивает.

ЗАЯВКА

Опишите задачу — ответим с оценкой

Чем конкретнее исходные данные — материал, геометрия, условия эксплуатации, — тем точнее будет ответ. Чертёж или эскиз ускоряет подбор технологии.

Телефон: 8 903 092-63-29
Email: sales@nitektech.ru
Почтовый адрес: 195030, Санкт-Петербург, а/я 7