Газовые системы, обвязки и панели подачи

Разделы

• Газовые панели — в открытом, шкафном и рамном исполнении;
• Газобаллонные шкафы — один и два канала, продувка, автоматическое переключение, управление на контроллере;
• Рампы и станции — групповая подача, в том числе в контейнерном исполнении;
• Установки газосмешения — приготовление смесей заданного состава из чистых газов.

Что изготавливаем

• Газовые панели и рампы — редуцирование, распределение, переключение баллонов, в том числе для агрессивных и особо чистых газов;
• Шкафы газобаллонные и газораспределительные — с вентиляцией, контролем загазованности и отсечкой;
• Трубные обвязки — от баллонной до точки потребления, с орбитальной сваркой стыков;
• Системы подачи прекурсоров для CVD и ALD — с ёмкостями, барботёрами и обогревом линий;
• Узлы смешения и подготовки — фильтрация, осушка, стабилизация давления и расхода.

Чистота тракта

Для сверхчистых (UHP) и чистых (HP) систем важен не сорт стали, а то, как обработана внутренняя поверхность и как сварены стыки. Поэтому обвязку варим орбитальной сваркой закрытой головкой: шов равномерный по всей окружности, без окисления изнутри, параметры каждого стыка записываются. Готовую систему проверяем гелиевым течеискателем и передаём с протоколом.

Материалы	нержавеющие стали AISI 316L, 304, 321, 12Х18Н10Т; для отдельных сред — титан
Сварка стыков	орбитальная, трубы от 3 до 12 мм, стенка до 2 мм; TIG для остального
Внутренние поверхности	при необходимости электрохимическая полировка
Арматура	вентили, редукторы, регуляторы расхода, фильтры — подбор под среду
Контроль	опрессовка, продувка, гелиевое течеискание с протоколом
Автоматика	контроль давления и расхода, загазованность, аварийная отсечка

Безопасность как часть системы

Для токсичных, взрыво- и пожароопасных сред отдельно прорабатываем контроль загазованности, аварийную отсечку и вентиляцию шкафов, а логику блокировок закладываем в щит автоматики. Это тот случай, когда проектировать тракт и писать программу должен один исполнитель — иначе блокировки и реальная схема расходятся.

Что прислать для оценки

• состав потребителей газа и точки подключения;
• рабочие среды: газы, смеси, требования к чистоте (UHP, HP, технический);
• давление и расход в каждой точке;
• источник: баллоны, моноблоки, криогенная ёмкость, генератор;
• план помещения или схема существующей системы;
• требования по безопасности и контролю загазованности.