Установки газосмешения

Как это устроено

Каждый компонент подаётся через собственный регулятор массового расхода, контроллер задаёт соотношение потоков и удерживает его при изменении давления на входе. Состав смеси задаётся в процентах или по расходу каждого канала, смена рецепта — без перестройки обвязки.

Число каналов	по числу компонентов смеси, от двух
Регулирование	электронные регуляторы массового расхода газа (РРГ)
Управление	контроллер с панелью оператора, рецепты, журнал
Протоколы обмена	Modbus RTU и TCP, передача на верхний уровень
Материалы тракта	нержавеющая сталь, обвязка под класс чистоты газов
Контроль	опрессовка, продувка, гелиевое течеискание

Где применяется

• подача технологических смесей в установки CVD, ALD и термообработки;
• приготовление поверочных и калибровочных смесей для аналитики;
• испытательные стенды, где состав среды — параметр эксперимента;
• лабораторные установки с частой сменой рецептов.

Вместе с остальной системой

Установка смешения редко работает сама по себе: перед ней — шкафы или рампы с чистыми газами, после — реактор или технологическое оборудование. Мы делаем всю цепочку, поэтому расходы, давления и логика управления согласованы между узлами, а не подгоняются на месте.

Что прислать для расчёта

• состав смеси и допустимое отклонение;
• компоненты и их чистота;
• диапазон расходов по каждому каналу;
• давление на входе и на выходе;
• нужны ли рецепты и передача данных на верхний уровень.