Реакторы CVD, ALD и технологические

Что изготавливаем

• Реакторы для атомно-слоевого осаждения (ALD) — с импульсной подачей реагентов и продувкой, равномерным прогревом зоны осаждения;
• Реакторы CVD — для осаждения из газовой фазы, с вводом прекурсоров и отводом продуктов реакции;
• Технологические реакторы из нержавеющей стали для процессов в вакууме или контролируемой атмосфере;
• Оснастка и внутренние узлы — держатели образцов, экраны, распределители потока, вводы движения и измерений;
• Замена реактора в действующей установке с повторением присоединительных размеров.

На что обращаем внимание при разработке

Материалы	нержавеющие стали AISI 304, 316, 316L, 321, 12Х18Н10Т, титан ВТ1-0; для отдельных задач — кварц, керамика
Ввод реагентов	схема подачи и продувки, распределение потока по зоне
Нагрев	зонный нагрев с контролем по нескольким точкам, равномерность поля температур
Уплотнения	эластомерные для средних температур, металлические CF — для прогреваемых и сверхвысоковакуумных
Внутренние поверхности	обработка под требования процесса, при необходимости полировка и пассивация
Герметичность	вакуумно-плотная сварка, контроль гелием до 3×10⁻¹¹ мбар·л/с
Присоединения	фланцы KF, ISO-K, ISO-F, CF; порты под вакуумметрию и термопары

Опыт с процессом, а не только с металлом

Реактор проектирует тот, кто понимает, что в нём будет происходить. Мы работаем с молекулярным наслаиванием не в теории: в компании ведётся собственная научно-исследовательская работа по покрытиям AlN и TiN на установке молекулярного наслаивания УМН-4П/30 — см. покрытия AlN и раздел ALD. Поэтому требования к чистоте тракта, продувке и равномерности прогрева для нас не абстракция.

Что прислать для оценки

• процесс и реагенты, рабочие температура и давление;
• размеры и форма обрабатываемых изделий или подложек;
• требуемая равномерность прогрева;
• схема подачи газов, если она уже проработана;
• присоединения к существующей установке;
• чертёж или фотография реактора, который нужно заменить.