Внутрикамерные устройства и оснастка

Что изготавливаем

• Держатели подложек и образцов — включая термостабилизированные, с закладкой нагрева и контроля температуры;
• Столики и планшайбы — неподвижные и вращающиеся, с оснасткой под несколько изделий;
• Экраны и защитные кожухи — для ограничения зоны осаждения и защиты стенок камеры;
• Маски и трафареты — под заданную геометрию обработки;
• Узлы перемещения внутри камеры — механика подачи, поворота, подъёма;
• Распределители потока и экраны выравнивания — влияющие на равномерность процесса;
• Вводы и порты — под термопары, вакуумметрию, электрические и механические вводы.

Требования, которые учитываем

Материалы	нержавеющие стали, титан ВТ1-0 и ВТ6, алюминиевые сплавы АМг и Д16, медь; по задаче — тугоплавкие металлы
Вакуумная совместимость	подбор материалов и обработки с низким газовыделением, отсутствие глухих непроливаемых полостей
Температура	конструкция с учётом теплового расширения и подвода тепла к изделию
Чистота поверхности	обработка под требования процесса, при необходимости полировка
Точность	механообработка на собственном станочном парке, контроль размеров
Сварка	вакуумно-плотная, TIG и орбитальная, с контролем гелием

Замена изношенной оснастки

Частая задача: установка работает, но её внутренняя оснастка выработала ресурс, а поставщика уже нет или сроки поставки неприемлемы. Изготавливаем такие узлы по образцу — снимаем размеры с изношенной детали и повторяем присоединения точно, чтобы узел встал на место без доработки камеры.

Если параллельно нужно привести в порядок и саму установку — см. модернизацию оборудования. Для процессов CVD и ALD оснастку делаем вместе с реактором.

Что прислать для оценки

• чертёж, эскиз или сам образец детали;
• тип установки и процесс, в котором работает узел;
• рабочие температура и вакуум;
• требования к материалу и чистоте поверхности;
• количество и желаемый срок.