Ёмкости для реагентов, барботёры и баллоны

Ёмкости для реагентов

Типоразмерный ряд под точный узел клапана с резьбой UNF 9/16-18 — от лабораторных объёмов до литра.

Объёмы	50, 75, 100, 180, 320, 450, 1000 мл
Рабочее давление	1,6 МПа; исполнение на 50 мл — до 6,8 МПа
Пропускная способность	Kv 0,22; для исполнения 50 мл — Cv 0,28
Температурный диапазон	10…120 °C; исполнение 50 мл — −62…315 °C
Присоединение	резьба UNF 9/16-18

Барботёры для прекурсоров CVD и ALD

Ёмкости для жидких и твёрдых прекурсоров с заправочным отверстием. Внутренние поверхности и сварные швы проходят химическую полировку — это принципиально для работы с агрессивными прекурсорами: любая неровность и окисная плёнка становятся очагом загрязнения процесса.

Конструкцию подбираем под способ подачи: барботирование газа-носителя через жидкость или сублимация твёрдого прекурсора с обогревом корпуса. Реакторы и системы подачи под них делаем там же — см. реакторы и газовые системы.

Баллоны для особо чистых газов

Сварные баллоны для отбора проб и хранения особо чистых газов, включая агрессивные — хлор, фтороводород, трихлорид бора, трифторид бора, аммиак и другие.

Материал	сталь 12Х18Н10Т, внутренняя поверхность — электрохимическая полировка
Объёмы	2, 4, 20 л и по заданию
Рабочее давление	до 15,2 МПа (пробное 20,1 МПа) для малых объёмов; 6 МПа для 20 л
Температурный диапазон	−196…+100 °C
Резьба горловины	W19,2 или W27,8 по ГОСТ 9909
Уплотнение горловины	ФУМ-лента
Контроль	гелиевое течеискание с протоколом

Изготовление по заданию

Приведённые ряды — типовые исполнения. Объём, присоединения, рабочее давление и обработку поверхностей подбираем под вашу задачу; изготавливаем и единичные изделия. Полные таблицы типоразмеров с габаритами высылаем вместе с предложением.